德国MESA微氧测量系统，专用于半导体生产环节的热处理工艺。

德国MESA微氧测量系统是通过抽取气体到特制测量室，然后通过Lambda探头在稳定受控的温度下进行微氧测量的精密系统，可以输出模拟信号对应ppm氧含量。

量程：   0…5 / 10 / 100 / 10000 ppm

精度：   ± 1 % FS

优势：   四点校正

输出：   0 (4)…20mA 或 0…10V

产地：   德国 （ISO 9001 : 2015认证）

适用行业： 半导体

主要客户： Mattson

德国MESA微氧测量系统采用氧化锆探头（Lambda探头）设计，可以保持在恒定600℃测量，不受炉内温度影响，Lambda探头工作状态稳定，使用寿命比其它同类产品更长，实际使用寿命可到10年之久；

德国MESA微氧测量系统，每一个Lambda探头均有其独特的零点漂移系数K1和温度补偿系数K2，从而使智能电源输出的测量信号更为精准。量程和输出类型可选。亦可将测量结果通过RS232/RS485等接口连接至上位机，实现集中控制功能。